ටෙෆ්ලෝන් ආලේපිත සෙරමික් අන්ත ප්රයෝගකය - සංවේදී වේෆර් හැසිරවීම සඳහා නොඇලෙන මතුපිට
St.Cera's Teflon (PTFE) ආලේපිත සෙරමික් අන්ත ප්රයෝගකය, ඉහළ ශක්තියකින් යුත් ඇලුමිනා උපස්ථරයක් ඒකාකාර, අඩු ඝර්ෂණ PTFE ආලේපනයක් (ඝනකම 15–30 μm) සමඟ ඒකාබද්ධ කරයි. ආලේපනය අතිශයින් අඩු ඝර්ෂණ සංගුණකයක් (≤0.1), විශිෂ්ට රසායනික ප්රතිරෝධයක් සහ නොඇලෙන ගුණාංග සපයන අතර, වේෆර් ඇලවීම වළක්වයි සහ පිටුපස දූෂණය ඉවත් කරයි. යටින් පවතින සෙරමික් උපස්ථරය (99.8% Al₂O₃) ඉහළ නම්යශීලී ශක්තියක් (361–1000 MPa), ඇඳුම් ප්රතිරෝධය සහ 260°C (ආලේපන සීමාව) දක්වා තාප ස්ථායිතාව ලබා දෙයි. මෙම අන්ත ප්රයෝගකය සියුම්, තුනී හෝ ඇලෙන සුළු වේෆර් හැසිරවීම සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ (උදා: ෆොටෝරෙසිස්ට් ආලේපනයෙන් හෝ රසායනික ක්රියාවලීන්ගෙන් පසු).
පිරිවිතර (PTFE ආලේපනය සහිත 99.8% Al₂O₃ උපස්ථරය මත පදනම්ව):
| දේපළ | වටිනාකම |
| උපස්ථර ද්රව්ය | 99.8% ඇලුමිනා (අත්දත්) |
| ආලේපන ද්රව්ය | PTFE (ටෙෆ්ලෝන්) |
| ආලේපන ඝණකම | 15–30 මයික්රෝමීටර |
| ඝර්ෂණ සංගුණකය (ආලේපිත) | ≤0.1 |
| උපස්ථරයේ නම්යශීලී ශක්තිය (Al₂O₃) | 361 MPa |
| උපස්ථර දෘඪතාව (Al₂O₃) | ගිගාපට 16 |
| උපස්ථර ඝනත්වය | 3.93 g/cm³ |
| උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය (ආලේපන සීමාව) | 260°C උෂ්ණත්වය |
| මතුපිට රළුබව (ආලේපනය කිරීමට පෙර) | රා ≤0.4 μm |
| ද්වි විද ත් ශක්තිය (උපස්ථරය) | 15×10⁶ වී/මී |
සටහන: PTFE ආලේපනය උපරිම උෂ්ණත්වය 260°C දක්වා සීමා කරයි; ඉහළ උෂ්ණත්ව යෙදීම් සඳහා, ආලේප නොකළ සෙරමික් හෝ වෙනත් ආලේපන සලකා බලන්න.
අයදුම්පත්:
- · ප්රභා ප්රතිරෝධක ආලේපනයෙන් පසු වේෆර් හැසිරවීම (ඇලෙන සුළු මතුපිට)
- · තුනී හෝ බිඳෙන සුළු වේෆර් මාරු කිරීම (ඇලවීම වළක්වයි)
- · අර්ධ සන්නායක පරීක්ෂණ සහ මිනුම් විද්යා මෙවලම්
- · අංශු දූෂණය අවම කළ යුතු පිරිසිදු කාමර ස්වයංක්රීයකරණය
නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය:
සෙරමික් උපස්ථරය සින්ටර් කර නිරවද්ය බිම් → මතුපිට රළු කිරීම (ප්ලාස්මා එච් හෝ ග්රිට් පිපිරවීම) → PTFE ඉසින ආලේපනය → 380°C දී තාප සුව කිරීම → අවසාන පරීක්ෂාව. සෑම අන්ත ආචරකයක්ම ආලේපන ඝණකම (සුළි ධාරාව), ඇලවීම (හරස් කැපුම් පරීක්ෂණය ASTM D3359) සහ ඝර්ෂණ සංගුණකය සඳහා පරීක්ෂා කරනු ලැබේ.
තත්ත්ව පාලනය:
සිදුරු හෝ බුබුලු සඳහා 100% දෘශ්ය පරීක්ෂාව; ±5 μm තුළ ආලේපන ඝණකම ඒකාකාරිත්වය; සාක්ෂි කූපනයේ 90° නැමීමේ පරීක්ෂණයෙන් පසු විරූපණයක් නොමැත. OEM ඉවසීමට මාන පරීක්ෂාව (දිග ±0.05 මි.මී., පැතලි බව ≤0.1 මි.මී.).
ආලේප නොකළ හෝ වෙනත් ආලේපන වලට වඩා වාසි:
- · නොඇලෙන මතුපිට වේෆර් ඇලවීම සහ කැඩීම වළක්වයි
- · සෙරමික් ආලේපන අතර අවම ඝර්ෂණ සංගුණකය
- · විශිෂ්ට රසායනික ප්රතිරෝධය (අම්ල, භෂ්ම, ද්රාවක)
- · ද්රව්ය හුවමාරුව වැළැක්වීම මගින් අංශු උත්පාදනය අඩු කරයි.
සීමාවන් (ද්රව්යමය අපගමනය පිළිබඳ අදහස්):
PTFE ආලේපනය සපයා ඇති ද්රව්ය ගුණාංග වගු වලින් (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) ලබාගෙන නොමැත. උපස්ථර ගුණාංග සපයන ලද දත්ත පත්රිකාව (99.8% Al₂O₃) දැඩි ලෙස අනුගමනය කරයි. ආලේපන දත්ත සපයා නොමැති බැවින්, ආලේපන ගුණාංග කර්මාන්ත-සම්මත PTFE පිරිවිතර මත පදනම් වේ. 260°C ඉක්මවන යෙදුම් සඳහා, ආලේප නොකළ සෙරමික් අන්ත ආචරකයක් නිර්දේශ කෙරේ.*
අභිරුචිකරණය:
OEM ඇඳීමකට දිග 150–1500 mm, ඉඟි හැඩතල (දාර ග්රහණය, බර්නූලි, පැතලි), සවි කරන ෆ්ලැන්ජ් රටා වලින් ලබා ගත හැකිය. අර්ධ ආලේපනය (ස්පර්ශක ප්රදේශ පමණක්) හෝ සම්පූර්ණ ආවරණය විකල්පමය.
ඇලවීම සහ ඝර්ෂණ පරීක්ෂණ සඳහා සාම්පලයක් ඉල්ලන්න.
