අර්ධ සන්නායක සවිකිරීම් සඳහා නිරවද්ය ඇලුමිනා සෙරමික් ස්ථාන දණ්ඩ
St.Cera හි සෙරමික් ස්ථාන දණ්ඩ 99.8% අධි-පිරිසිදු ඇලුමිනා (Al₂O₃) වලින් නිරවද්ය ලෙස අඹරා ඇත. එය ඉහළ දෘඪතාව (16 GPa), විශිෂ්ට ඇඳුම් ප්රතිරෝධය සහ මාන ස්ථායිතාව සපයයි. විෂ්කම්භය ඉවසීම ±0.005 mm තරම් තද, දිග 150 mm දක්වා. සුමට ඇතුළු කිරීම සහ ඉවත් කිරීම සඳහා දණ්ඩේ මතුපිට Ra ≤0.2 μm දක්වා ලැප් කර ඇත. අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලි සවිකිරීම්, වේෆර් කැසට් සහ පරීක්ෂණ උපකරණවල පෙළගැස්වීමේ අල්ෙපෙනති, ඩෝවෙල් අල්ෙපෙනති හෝ ස්ථානගත කිරීමේ නැවතුම් ලෙස භාවිතා කරයි.
පිරිවිතර (99.8% Al₂O₃ මත පදනම්ව):
| දේපළ | වටිනාකම |
| ද්රව්ය | 99.8% ඇලුමිනා (අත්දත්) |
| ඝනත්වය | 3.93 g/cm³ |
| නම්යශීලී ශක්තිය | 361 MPa |
| විකර්ස් දෘඪතාව | ගිගාපට 16 |
| යංගේ මොඩියුලස් | ගිගා පැසිෆික් පැසිෆික් අම්ලය |
| විෂ්කම්භය පරාසය | 1–20 මි.මී. |
| දිග පරාසය | 5–150 මි.මී. |
අයදුම්පත්:
- · වේෆර් කැසට් පෙළගැස්වීමේ අල්ෙපෙනති
- · ලිෆ්ට් පින් මාර්ගෝපදේශක බුෂිං
- · සවිකිරීම් ස්ථානගත කිරීමේ ඩෝවෙල්
- · පරීක්ෂණ කාඩ්පත් පෙළගැස්වීමේ සටහන්
වානේ වලට වඩා වාසි:
- · චුම්භක නොවන, විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන
- · ගෙවී යාමෙන් අංශු ජනනය වීමක් සිදු නොවේ
- · විද්යුත් පරිවාරක (>10¹⁴ Ω·mm²/m)
අභිරුචිකරණය:
චැම්ෆර්ඩ් කෙළවර, පියවර විෂ්කම්භය, නූල් සිදුරු, හෝ අභිරුචි ඉඟි පැතිකඩ.
