සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) සෙරමික් අන්ත ප්රයෝගකය - ඉහළ උෂ්ණත්ව වේෆර් හැසිරවීම සඳහා ඉහළ දෘඪතාව
St.Cera's SiC සෙරමික් අන්ත ප්රයෝගකය S1111 කාණ්ඩ ද්රව්ය භාවිතයෙන් ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC අන්තර්ගතය 99.72%, නිදහස් Si 0.05%) වලින් නිෂ්පාදනය කෙරේ. එය සුවිශේෂී යාන්ත්රික ගුණාංග ලබා දෙයි: නම්යශීලී ශක්තිය 449 MPa (මනින ලද), ප්රත්යාස්ථතා මාපාංකය 457 GPa (මනින ලද), සහ Vickers දෘඪතාව 25–28 GPa (සාමාන්ය). අඩු ඝනත්වය (3.10–3.15 g/cm³, සාමාන්ය) ඉහළ නිශ්චිත දෘඪතාවයක් සපයයි, අධිවේගී වේෆර් හුවමාරු රොබෝවරුන් සඳහා වඩාත් සුදුසුය. 120–150 W/m·K (සාමාන්ය) තාප සන්නායකතාවය සහ 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (සාමාන්ය) තාප ප්රසාරණ සංගුණකය සමඟ, මෙම අන්ත ප්රයෝගකය තාපය ඵලදායී ලෙස විසුරුවා හරින අතර ඉහළ උෂ්ණත්ව හැසිරවීමේදී (1600–1700°C දක්වා, බරක් නැත) මාන ස්ථායිතාව පවත්වා ගනී. කළු/අළු වර්ණය සහ ශුන්ය ජල අවශෝෂණය පිරිසිදු කාමර අනුකූලතාව සහතික කරයි.
පිරිවිතර(සපයන ලද SiC S1111 පරීක්ෂණ වාර්තාව සහ සාමාන්ය අගයන් මත පදනම්ව)):
| දේපළ | වටිනාකම |
| ද්රව්ය | SiC (99.72% SiC, 0.05% නොමිලේ Si) |
| වර්ණ | කළු/අළු |
| ඝනත්වය | 3.10–3.15 g/cm³ |
| ජල අවශෝෂණය | 0% |
| නම්යශීලී ශක්තිය | 449 MPa (සාමාන්ය) |
| අස්ථි බිඳීමේ තද බව | 3.12 MPa·m¹/² (සාමාන්ය) |
| ප්රත්යාස්ථතා මාපාංකය | ගිගා පැසිෆික් පැසිෆික් අම්ලය |
| විකර්ස් දෘඪතාව | ගිගාපැස්කල් 25–28 |
| තාප සන්නායකතාවය (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| උපරිම භාවිත උෂ්ණත්වය (බරක් නැත) | 1600–1700°C |
අයදුම්පත්:
● ඉහළ-උෂ්ණත්ව වේෆර් හැසිරවීම (පශ්චාත් ඇනියල්, RTP, එපිටැක්සි)
● ඉහළ ඛාදන ප්රතිරෝධයක් අවශ්ය වන ප්ලාස්මා කැටයම් කුටි
● අධිවේගී මාරු රොබෝවරු (සැහැල්ලු, ඉහළ දෘඩතාව)
නිෂ්පාදනය:
SiC කුඩු සින්ටර් කිරීම → නිරවද්ය CNC බාහු පැතිකඩ ඇඹරීම සහ සවි කිරීමේ විශේෂාංග → මතුපිට ලැපින් → අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම. රික්ත යෙදුම් සඳහා 100% මාන පරීක්ෂාව සහ හීලියම් කාන්දු පරීක්ෂණය.
තත්ත්ව පාලනය:
● දිග, පළල සහ සමතලා බව පිළිබඳ CMM පරීක්ෂාව
● කාණ්ඩයකට නම්යශීලී ශක්ති පරීක්ෂණය (පරීක්ෂණ වාර්තා ප්රමිතියකට අනුව)
● මතුපිට දෝෂ සඳහා අන්වීක්ෂයක් යටතේ දෘශ්ය පරීක්ෂාව
ඇලුමිනා හෝ ලෝහ වලට වඩා වාසි:
● 2× ඉහළ ප්රත්යාස්ථතා මාපාංකය (ඇලුමිනා සඳහා 457 vs ~380 GPa) – අඩු අපගමනය
● 3× ඉහළ තාප සන්නායකතාවය – වේගවත් තාප විසර්ජනය
● වාතයේ දී ඇලුමිනා 800°C ට වඩා 1600°C ට වඩා වැඩි උෂ්ණත්වයකට ඔරොත්තු දෙයි
● වානේවලට වඩා අඩු ඝනත්වය – 40% බර අඩු කිරීම
අභිරුචිකරණය:
දිග 150–450 මි.මී., ඉඟි හැඩයන් (දාර ග්රහණය, බර්නූලි, පැතලි), OEM ඇඳීමකට අනුව ෆ්ලැන්ජ් රටා සවි කිරීම.
*ඉහත සියලුම යාන්ත්රික දත්ත සපයා ඇති පරීක්ෂණ වාර්තාවෙන් (S1111 කාණ්ඩය) පැමිණේ. මෙම SiC ශ්රේණිය සඳහා තාප සහ දෘඪතා අගයන් සාමාන්ය වේ; කැබලි අක්ෂර-නිශ්චිත සහතික කිරීම සඳහා කරුණාකර අප හා සම්බන්ධ වන්න.*
