CVD / PVD ක්රියාවලි කුටි සඳහා අධි-සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ඇලුමිනා සෙරමික් වළල්ල
St.Cera හි සෙරමික් වළල්ල CVD (රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම) සහ PVD (භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම) ක්රියාවලි කුටිවල භාවිතය සඳහා විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත. 99.8% අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ඇලුමිනා (Al₂O₃) වලින් නිෂ්පාදනය කරන ලද මෙම වළල්ල, ප්ලාස්මා සීමා කිරීමට සහ කුටි බිත්ති ඛාදනයෙන් ආරක්ෂා කිරීමට කුටි ලයිනර්, නාභිගත වළල්ලක් හෝ ක්රියාවලි කට්ටල සංරචකයක් ලෙස සේවය කරයි. ද්රව්යය විශිෂ්ට ප්ලාස්මා ප්රතිරෝධයක්, ඉහළ පාර විද්යුත් ශක්තියක් (15×10⁶ V/m) සහ 1600°C දක්වා තාප ස්ථායිතාව ලබා දෙන අතර, ආක්රමණශීලී ෆ්ලෝරීන් මත පදනම් වූ ප්ලාස්මා පරිසරයන්හි දිගු සේවා කාලය සහතික කරයි. නිරවද්ය මාන ඉවසීම් (ID/OD මත ±0.05 mm) සහ පැතලි බව (≤10 μm) ස්ථාවර වේෆර් දාර ස්ථානගත කිරීම, තැන්පත් කිරීමේ ඒකාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීම සහ අංශු උත්පාදනය අඩු කිරීම සක්රීය කරයි.
පිරිවිතර (99.8% Al₂O₃ මත පදනම්ව):
| දේපළ | වටිනාකම |
| ද්රව්ය | 99.8% ඇලුමිනා (අත්දත්) |
| ඝනත්වය | 3.93 g/cm³ |
| ජල අවශෝෂණය | 0% |
| නම්යශීලී ශක්තිය | 361 MPa |
| අස්ථි බිඳීමේ තද බව | 3–4 MPa·m¹/² |
| විකර්ස් දෘඪතාව | ගිගාපට 16 |
| යංගේ මොඩියුලස් | ගිගා පැසිෆික් පැසිෆික් අම්ලය |
| තාප සන්නායකතාවය | 32 W/m·k |
| තාප ප්රසාරණය (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ද්වි විද ත් ශක්තිය | 15×10⁶ වී/මී |
| නිශ්චිත ප්රතිරෝධය | >10¹⁴ Ω·සෙ.මී. |
| උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය | 1600°C උෂ්ණත්වය |
අයදුම්පත්:
- · CVD කුටීර නාභිගත වළලු සහ දාර වළලු
- · PVD කුටීර පලිහ වළලු සහ කලම්ප වළලු
- · එච් කුටීර ලයිනර් සහ ආවරණ වළලු
- · ඩයලෙක්ටික් එච් පද්ධතිවල ප්ලාස්මා සීමා කිරීමේ වළලු
නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය:
සමස්ථානික පීඩනය → හරිත යන්ත්රෝපකරණ → 1600°C දී සින්ටර් කිරීම → CNC ID/OD ඇඹරීම → මතුපිට ලැපින් → අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම → 100% CMM පරීක්ෂාව. අතිශය සුමට මතුපිට නිමාව (Ra ≤0.4 μm) අංශු ඇලවීම අවම කරයි.
තත්ත්ව පාලනය:
- · 100% මාන පරීක්ෂාව (ID, OD, ඝණකම, පැතලි බව)
- · මතුපිට ක්ෂුද්ර ඉරිතැලීම් සඳහා ඩයි විනිවිද යාමේ පරීක්ෂාව
- · ASTM D149 අනුව ද්වි විද ත් ශක්ති පරීක්ෂණය
- · 20× අන්වීක්ෂයක් යටතේ දෘශ්යමාන දුර්වර්ණ වීමක් හෝ සිදුරු වීමක් නොමැත.
ලෝහ හෝ ක්වාර්ට්ස් මුදු වලට වඩා වාසි:
- · ෆ්ලෝරීන් ප්ලාස්මාවේ ඇලුමිනියම් වළලු වලට වඩා 5–10× දිගු ආයු කාලයක්
- · තුනී පටලවල ලෝහ දූෂණයක් නොමැත.
- · ක්වාර්ට්ස් වලට වඩා ඉහළ ප්ලාස්මා ප්රතිරෝධයක් (ඛාදන වලවල් නොමැත)
- · දිගුකාලීන භාවිතයෙන් පසුව පවා 10¹⁴ Ω·cm ට වැඩි විදුලි පරිවරණයක් පවත්වා ගනී.
විකල්ප ද්රව්ය — සිලිකන් නයිට්රයිඩ් (Si₃N₄):
ඊටත් වඩා ඉහළ අස්ථි බිඳීමේ තද බවක් (6.2 MPa·m¹/²) සහ වඩා හොඳ තාප කම්පන ප්රතිරෝධයක් (ප්රසාරණ සංගුණකය 3.2×10⁻⁶/℃) අවශ්ය යෙදුම් සඳහා, Si₃N₄ මුදු ලබා ගත හැකිය. කෙසේ වෙතත්, බොහෝ CVD/PVD යෙදුම් සඳහා ඇලුමිනා වඩාත් ලාභදායී වේ. ඇණවුම් කිරීමේදී කරුණාකර ද්රව්ය මනාපය සඳහන් කරන්න.
අභිරුචිකරණය:
- · සවි කිරීම සඳහා සිදුරු හරහා, පියවර තැබූ පැතිකඩ හෝ කවුන්ටර්බෝර්
- · වැඩි දියුණු කළ ප්ලාස්මා ප්රතිරෝධය සඳහා Y₂O₃-ආලේපිත මතුපිට (විකල්ප)
- · කොටස් අංකය / කොටස් කේතය ලේසර් කැටයම් කිරීම
සටහන:ඉහත දත්ත සපයා ඇති Al₂O₃ ගුණාංග වගුව දැඩි ලෙස අනුගමනය කරයි. Si₃N₄ මුදු සඳහා, සපයා ඇති වෙනම Si₃N₄ දත්ත පත්රිකාව බලන්න.
