300mm වේෆර් සැකසුම් සඳහා අඟල් 12 ඇලුමිනා වැකුම් චක්
St.Cera හි අඟල් 12 රික්ත චක් එක 300mm වේෆර් හැසිරවීම සඳහා 99.8% අධි-පිරිසිදු ඇලුමිනා (Al₂O₃) වලින් නිරවද්යතාවයෙන් නිර්මාණය කර ඇත. මුළු 300mm විෂ්කම්භය පුරා ඒකාකාර රික්ත ව්යාප්තිය සහතික කිරීම සඳහා චක් එකේ සියුම් කට්ට සහිත මතුපිටක් (වල පළල 0.5–1.0 mm, තාරතාව 2–3 mm) ඇත. කැට කැපීම, පිටුපස ඇඹරීම සහ පරීක්ෂා කිරීමේදී විකෘති-නිදහස් වේෆර් සවි කිරීම සක්රීය කරමින් 5 μm තුළ පැතලි බව පවත්වා ගනී. ද්රව්යයේ ඉහළ නම්යශීලී ශක්තිය (361 MPa) සහ දෘඪතාව (16 GPa) නැවත නැවත රික්ත චක්ර යටතේ වුවද දිගුකාලීන මාන ස්ථාවරත්වය සහතික කරයි.
පිරිවිතර (99.8% Al₂O₃ මත පදනම්ව):
| දේපළ | වටිනාකම |
| විෂ්කම්භය | 300 මි.මී. (අඟල් 12) |
| ද්රව්ය | 99.8% ඇලුමිනා (අත්දත්) |
| ඝනත්වය | 3.93 g/cm³ |
| නම්යශීලී ශක්තිය | 361 MPa |
| විකර්ස් දෘඪතාව | ගිගාපට 16 |
| පැතලි බව (මි.මී. 300 ට වැඩි) | ≤5 μm |
| කට්ට පළල | 0.5–1.0 මි.මී. |
| උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය | 800°C උෂ්ණත්වය |
| ද්වි විද ත් ශක්තිය | 15×10⁶ වී/මී |
අයදුම්පත්:
300mm වේෆර් කැට කැපීම සහ ලිවීම
වේෆර් පිටුපස ඇඹරීම (තුනී වේෆර් ආධාරකය)
දෘශ්ය පරීක්ෂාව සහ පරීක්ෂා කිරීම
තාවකාලික බන්ධන/බන්ධන ඉවත් කිරීමේ කුට්ටි
නිෂ්පාදනය:
CNC බිම්ගත කර අවසාන සමතලාභාවයට ලැප් කර, දියමන්ති රෝදවලින් කට්ට දමා, අතිධ්වනිකව පිරිසිදු කර, 100 පන්තියේ පිරිසිදු කාමරයක ඇසුරුම් කර ඇත. සෑම චක් එකක්ම සමතලාභාවය (ලේසර් ඉන්ටර්ෆෙරෝමීටරය) සහ කට්ට ගැඹුර (ප්රොෆිලෝමීටරය) සඳහා 100% පරීක්ෂා කරනු ලැබේ.
වාසි:
අඩු අංශු උත්පාදනය (≤0.05 අංශු/cm²)
ද්රාවක සහ අම්ල වලට රසායනිකව නිෂ්ක්රීයයි.
ESD-ආරක්ෂිත මතුපිට (ප්රතිරෝධකතාව >10¹³ Ω·cm)
අභිරුචි රික්ත සිදුරු රටා සහ පිටුපස පැත්තේ තොටුපළවල් තිබේ.
