ඇලුමිනා මත පදනම් වූ සම්මත රික්ත චක් - නිරවද්ය යන්ත්රෝපකරණ සඳහා ඉහළ දෘඪතාව
මෙම ඇලුමිනා මත පදනම් වූ රික්ත චක් එක 99.8% Al₂O₃ වලින් නිෂ්පාදනය කර ඇති අතර, අභිරුචි රික්ත කට්ට රටා සහිත සුමට සිදුරු රහිත මතුපිටක් ලබා දෙයි. එය සුවිශේෂී දෘඪතාව (යන්ග්ගේ මාපාංකය 380 GPa) සහ පැතලි බව (≤3 μm) සපයන අතර, එය අර්ධ සන්නායක වේෆර් සහ දෘශ්ය සංරචක නිරවද්ය ඇඹරීම, ලැප් කිරීම සහ කැට කැපීම සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. ද්රව්යයේ ඉහළ තාප සන්නායකතාවය (32 W/m·k) සැකසීමේදී උෂ්ණත්ව ඒකාකාරිත්වය සහතික කරයි.
පිරිවිතර(99.8% Al මත පදනම්ව)�O₃):
| දේපළ | වටිනාකම |
| ද්රව්ය | 99.8% ඇලුමිනා (අත්දත්) |
| ඝනත්වය | 3.93 g/cm³ |
| නම්යශීලී ශක්තිය | 361 MPa |
| විකර්ස් දෘඪතාව | ගිගාපට 16 |
| යංගේ මොඩියුලස් | ගිගා පැසිෆික් පැසිෆික් අම්ලය |
| තාප සන්නායකතාවය | 32 W/m·k |
| පැතලි බව | ≤3 μm (මි.මී. 200ට වැඩි) |
| මතුපිට රළුබව (චක් පැත්ත) | රා ≤0.4 μm |
| උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය | 800°C උෂ්ණත්වය |
අයදුම්පත්:
- · වේෆර් පිටුපස ඇඹරීම (රළු සහ සියුම්)
- · බිඳෙන සුළු ද්රව්යවල නිරවද්ය කැට කැපීම
- · සෙරමික් උපස්ථර වල ලැපින් කිරීම
- · දෘශ්ය කාච ඔප දැමීම
නිෂ්පාදනය:
දෙපස නිරවද්ය ලැපින් කිරීම → දියමන්ති කට්ට (විකල්ප) → දාර වට කිරීම → අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම → ලේසර් ඉන්ටර්ෆෙරෝමීටරය සමඟ 100% පැතලි බව පරීක්ෂා කිරීම.
Aවාසි:
- · දෘඩ ආධාරකය බර යටතේ අපගමනය අවම කරයි
- · සිදුරු සහිත ව්යුහයෙන් අංශු ජනනය නොවේ.
- · පිරිසිදු කිරීමට පහසුය (ද්රාවක-පිසදැමීමට අනුකූල වේ)
- · රික්ත කට්ට අභිරුචිකරණය කළ හැකිය (කේන්ද්රීය, රේඩියල්, අභිරුචි රටා)
ලබා ගත හැකි ප්රමාණ:
වටය: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; ඉල්ලීම පරිදි හතරැස්/හතරැස්.
ඉහළ යාන්ත්රික ශක්තියක් සඳහා අපි ලෝහ පාදක අනුවාදයන් ද පිරිනමන්නෙමු.
