ප්ලාස්මා එච්ච් සහ සීවීඩී පද්ධති සඳහා අධි-සංශුද්ධතා ඇලුමිනා කුටීර නාභිගත වළල්ල
St.Cera's chamber focus ring යනු ප්ලාස්මා etch, CVD සහ PVD අර්ධ සන්නායක උපකරණවල භාවිතා වන තීරණාත්මක ක්රියාවලි කට්ටල සංරචකයකි. 99.8% අධි-පිරිසිදු ඇලුමිනා (Al₂O₃) වලින් නිෂ්පාදනය කරන ලද මෙම වළල්ල, ප්ලාස්මා සීමා කිරීමට සහ අයන කෝණික ව්යාප්තිය ප්රශස්ත කිරීමට වේෆර් දාරය වට කර ඇති අතර එමඟින් වේෆර් මතුපිට පුරා එච් ඒකාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කරයි. ද්රව්යය සුවිශේෂී ප්ලාස්මා ප්රතිරෝධය, ඉහළ පාර විද්යුත් ශක්තිය (15×10⁶ V/m) සහ 1600°C දක්වා තාප ස්ථායිතාව ලබා දෙන අතර, ආක්රමණශීලී ෆ්ලෝරීන් හෝ ක්ලෝරීන් මත පදනම් වූ ප්ලාස්මා පරිසරවල දිගුකාලීන විශ්වසනීයත්වය සහතික කරයි. නිරවද්ය-බිම් ID/OD සහ පැතලි බව (≤10 μm) නිවැරදි වේෆර් දාර ස්ථානගත කිරීම, දාර දෝෂ සහ අංශු උත්පාදනය අඩු කරයි.
පිරිවිතර(99.8% Al මත පදනම්ව)�O₃):
| දේපළ | වටිනාකම |
| ද්රව්ය | 99.8% ඇලුමිනා (අත්දත්) |
| ඝනත්වය | 3.93 g/cm³ |
| ජල අවශෝෂණය | 0% |
| නම්යශීලී ශක්තිය | 361 MPa |
| අස්ථි බිඳීමේ තද බව | 3–4 MPa·m¹/² |
| විකර්ස් දෘඪතාව | ගිගාපට 16 |
| යංගේ මොඩියුලස් | ගිගා පැසිෆික් පැසිෆික් අම්ලය |
| තාප සන්නායකතාවය | 32 W/m·k |
| තාප ප්රසාරණය (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ද්වි විද ත් ශක්තිය | 15×10⁶ වී/මී |
| නිශ්චිත ප්රතිරෝධය | >10¹⁴ Ω·සෙ.මී. |
| උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය | 1600°C උෂ්ණත්වය |
අයදුම්පත්:
- · ද්වි විද ත් එච් කුටීර නාභිගත වළලු (ඔක්සයිඩ්, නයිට්රයිඩ් එච්)
- · සිලිකන් කැටයම් කුටීර දාර වළලු
- · CVD කුටීර ක්රියාවලි කට්ටල වළලු
- · PVD කුටීර පලිහ සහ කලම්ප වළලු
නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය:
අධි-සංශුද්ධතා ඇලුමිනා කුඩු සමස්ථානිකව තද කර ඇත → හරිත යන්ත්රගත කර ආසන්න-දැල හැඩයට → 1600°C දී සින්ටර් කර ඇත → ID, OD සහ ඝණකම CNC දියමන්ති ඇඹරීම → පැතලි බව ලබා ගැනීම සඳහා ලැපින් කිරීම ≤10 μm → අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම → 100% CMM පරීක්ෂාව. මතුපිට නිමාව Ra ≤0.4 μm අංශු ඇලවීම අවම කරයි.
තත්ත්ව පාලනය:
- · 100% මාන පරීක්ෂාව (ID, OD, ඝණකම, සමාන්තරකරණය)
- · ක්ෂුද්ර ඉරිතැලීම් සඳහා ඩයි විනිවිද යාමේ පරීක්ෂණය (ඉරිතැලීම් වලට අවසර නැත)
- · 20× අන්වීක්ෂයක් යටතේ දෘශ්ය පරීක්ෂාව - චිප්ස්, හිස්තැන් හෝ දුර්වර්ණ වීමක් නොමැත.
- · ASTM D149 අනුව ද්වි විද ත් ශක්ති පරීක්ෂණය (නියැදීම)
සිලිකන් හෝ ක්වාර්ට්ස් ෆෝකස් මුදු වලට වඩා වාසි:
- · ෆ්ලෝරෝකාබන් ප්ලාස්මාවේ 5–10× දිගු ආයු කාලයක්
- · වේෆර් දූෂණය කිරීමට පරිභෝජනය කළ හැකි ඛාදන අංශු නොමැත.
- · ඉහළ පාර විද්යුත් ශක්තිය චාප වීම වළක්වයි
- · RF පැය දහස් ගණනක් පුරා සමතලා බව සහ මාන නිරවද්යතාවය පවත්වා ගනී.
විකල්ප ද්රව්ය — යිට්රියා-ස්ථායී සර්කෝනියා (ZrO�):
ඉහළ අස්ථි බිඳීමේ තද බවක් අවශ්ය යෙදුම් සඳහා (උදා: නිතර තාප චක්රීයකරණය හෝ යාන්ත්රික කම්පනය සහිත කුටි), ZrO₂ නාභිගත වළලු (ඝනත්වය 6.03 g/cm³, නම්යශීලී ශක්තිය 1000 MPa, අස්ථි බිඳීමේ තද බව 5–8 MPa·m¹/²) ලබා ගත හැකිය. කෙසේ වෙතත්, ඇලුමිනා වඩා හොඳ පිරිවැය-ඵලදායීතාවයක් ලබා දෙන අතර බොහෝ නාභිගත වළලු යෙදුම් සඳහා කර්මාන්ත ප්රමිතිය වේ.
අභිරුචිකරණය:
- · පාරිභෝගික ඇඳීමකට අනුව පියවර පැතිකඩ, කවුන්ටර සිදුරු හෝ සවි කිරීමේ සිදුරු
- · වැඩි දියුණු කළ ප්ලාස්මා ඛාදන ප්රතිරෝධය සඳහා Y₂O₃ ආලේපනය (ඝනකම 20–100 μm)
- · කොටස් අංකය, දින කේතය හෝ පෙළගැස්වීමේ ලකුණු ලේසර් මගින් සලකුණු කිරීම
සටහන:සියලුම දත්ත සපයන ලද Al₂O₃ ගුණාංග වගුව දැඩි ලෙස අනුගමනය කරයි. ZrO₂ පිරිවිතර සඳහා, සපයන ලද සර්කෝනියා දත්ත පත්රිකාව බලන්න. නාභිගත මුදු සැලසුම් සඳහා පේටන්ට් බලපත්ර නිෂ්කාශනය අවශ්ය විය හැකිය - බුද්ධිමය දේපළ අයිතිවාසිකම් සත්යාපනය කිරීම සඳහා ගනුදෙනුකරුවන් වගකිව යුතුය.
