අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලි සවිකිරීම් සඳහා සෙරමික් ආධාරක පින්
ශාන්ත සෙරමික් ආධාරක අල්ෙපෙනති (ලිෆ්ට් අල්ෙපෙනති හෝ ආධාරක අල්ෙපෙනති ලෙසද හැඳින්වේ) අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලි කුටිවල හැසිරවීම, රත් කිරීම හෝ සිසිලනය අතරතුර වේෆර් හෝ උපස්ථර ඉහළ නැංවීම සඳහා භාවිතා කරයි. 99.8% ඇලුමිනා හෝ සිලිකන් නයිට්රයිඩ් වලින් නිෂ්පාදනය කරන ලද මෙම අල්ෙපෙනති ඉහළ සම්පීඩ්යතා ශක්තියක්, තාප ස්ථායිතාවයක් සහ රසායනික ප්රතිරෝධයක් ලබා දෙයි. අර්ධගෝලාකාර හෝ පැතලි ඉඟි සැලසුම වේෆර් සීරීම් වළක්වයි.
පිරිවිතර(ඇලුමිනා 99.8%):
| දේපළ | වටිනාකම |
| ද්රව්ය | 99.8% Al₂O₃ හෝ Si₃N₄ |
| දිග | 10 - 100 මි.මී. |
| විෂ්කම්භය | 1 - 10 මි.මී. |
| ඉඟි හැඩය | පැතලි, අර්ධගෝලාකාර, උල් වූ |
| සම්පීඩ්යතා ශක්තිය (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය (Al₂O₃) | 1600°C උෂ්ණත්වය |
| මතුපිට නිමාව | ලැප් කරන ලද (Ra ≤0.4 μm) |
| විෂ්කම්භය මත ඉවසීම | ±0.01 මි.මී. |
අයදුම්පත්:
CVD/PVD කුටිවල ලිෆ්ට් අල්ෙපෙනති
හොට්ප්ලේට් ෙබ්කිං සඳහා ආධාරක අල්ෙපෙනති
පරීක්ෂණ කාඩ්පත් ආධාරක ව්යුහයන්
ක්වාර්ට්ස් උදුන බෝට්ටු ආධාරක
නිෂ්පාදනය:
OD නිරවද්ය මධ්ය රහිත ඇඹරීම → ඉඟි පැතිකඩෙහි දියමන්ති ඇඹරීම → අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම → 100% මාන පරීක්ෂාව.
තත්ත්ව පාලනය:
දිග/විෂ්කම්භය සඳහා CMM, ඉඟි අරය සඳහා දෘශ්ය සංසන්දකය, සම්පීඩ්යතා ශක්තිය සත්යාපනය කිරීම සඳහා බර පරීක්ෂාව (කොටසකට අහඹු සාම්පලය). ෆෙරෝ චුම්භක දූෂණයක් නොමැත (චුම්බකයෙන් සත්යාපනය කර ඇත).
ලෝහ හෝ ක්වාර්ට්ස් අල්ෙපෙනති වලට වඩා වාසි:
මල නොබැඳෙන වානේ වලට වඩා 5 ගුණයකින් දිගු ආයු කාලයක්
ක්රියාවලි කුටිය තුළ ලෝහ දූෂණයක් නොමැත.
ක්වාර්ට්ස් වලට වඩා ඉහළ උෂ්ණත්ව හැකියාව (1600°C vs 1100°C)
නොඇලෙන මතුපිට (අංශු ඇලවීම අඩු වීම)
අභිරුචිකරණය:
බහු ඉඟි පැතිකඩ, නූල් සහිත පාදය හෝ ෙට්පර්ඩ් පතුවළ.
අපි ආන්තික ප්ලාස්මා පරිසරයන් සඳහා SiC අල්ෙපෙනති ද සපයන්නෙමු.
