CVD/PVD ෂවර්හෙඩ් සඳහා ඇලුමිනා වායු බෙදාහැරීමේ තහඩුව
ශාන්ත සෙරා හි වායු බෙදාහැරීමේ තහඩුව (ෂවර්හෙඩ්) ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් 99.8% ඇලුමිනා සෙරමික් වලින් නිරවද්යතාවයෙන් යන්ත්රගත කර ඇත. එහි CVD, PVD, හෝ ALD ක්රියාවලීන් අතරතුර වේෆර් මතුපිට හරහා ඒකාකාර වායු ප්රවාහය සහතික කරන ක්ෂුද්ර සිදුරු (විෂ්කම්භය 0.3–1.5 මි.මී.) මාලාවක් ඇත. තහඩුවේ ඉහළ පාර විද්යුත් ශක්තිය (> 15×10⁶ V/m) සහ ප්ලාස්මා ප්රතිරෝධය අර්ධ සන්නායක තුනී පටල තැන්පත් කිරීම සඳහා එය අත්යවශ්ය කරයි.
පිරිවිතර:
| දේපළ | වටිනාකම |
| ද්රව්ය | 99.8% Al₂O₃ හෝ SiC |
| විෂ්කම්භය | 100 - 1500mm (වටකුරු) හෝ සෘජුකෝණාස්රාකාර |
| ඝනකම | 5 - 20 මි.මී. |
| සිදුරු විෂ්කම්භය | 0.3 - 1.5 මි.මී. |
| සිදුරු රටාව | අභිරුචි (ත්රිකෝණාකාර, හතරැස්, රේඩියල්) |
| පැතලි බව | සම්පූර්ණ ප්රදේශය පුරා ≤10 μm |
| මතුපිට රළුබව | Ra ≤0.6 μm (වායු පැත්ත) |
| විවෘත ප්රදේශ අනුපාතය | 5–15% |
අයදුම්පත්:
PECVD ෂවර්හෙඩ් තහඩු
ALD ගෑස් ඉන්ජෙක්ටර්
එච්ච් කුටීර ගෑස් බෙදා හැරීමේ තහඩු
MOCVD ප්රතික්රියාකාරක සංරචක
නිෂ්පාදනය:
ඇලුමිනා උපස්ථරය පැතලි ලෙස ලැප් කර ඇත → දියමන්ති ආලේපිත මෙවලම් සහිත CNC විදුම් (සිදුරු ස්ථානගත කිරීමේ ඉවසීම ± 0.02 මි.මී.) → බර්රින් කිරීම → අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම → 100 පන්තියේ ඇසුරුම්.
තත්ත්ව පාලනය:
සෑම තහඩුවක්ම සිදුරු ප්රමාණය (දර්ශන පද්ධතිය), පැතලි බව (ලේසර් ඉන්ටර්ෆෙරෝමීටරය) සහ වායු ප්රවාහ ඒකාකාරිත්වය (පීඩන සිතියම්ගත කිරීම) සඳහා 100% පරීක්ෂා කරනු ලැබේ. 20x අන්වීක්ෂයක් යටතේ ක්ෂුද්ර ඉරිතැලීම් නොමැත.
ලෝහ තහඩු වලට වඩා වාසි:
තුනී පටලවල ලෝහමය දූෂණයක් නොමැත.
අඩු අංශු උත්පාදනය (විඛාදන පෙති නැත)
ආක්රමණශීලී පිරිසිදු කිරීමේ ප්ලාස්මා (CF₄, NF₃) වලට ඔරොත්තු දෙයි.
අභිරුචි විශේෂාංග:
පිටුපස වායු නාලිකා, ප්රති-විදින සිදුරු, දාර මුද්රා සහ විවිධ ද්රව්ය ශ්රේණි (ඉහළ තාප සන්නායකතාවය සඳහා SiC, ප්ලාස්මා ප්රතිරෝධය සඳහා Y₂O₃ ආලේපනය).
නිෂ්පාදනයට පෙර අපි CAD සත්යාපනය සහ ප්රවාහ අනුකරණය සපයන්නෙමු.
