වේෆර් හැසිරවීමේ රොබෝවරුන් සඳහා අධි-සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ඇලුමිනා සෙරමික් අන්ත ප්රයෝගකය
St.Cera හි ඇලුමිනා සෙරමික් අන්ත ප්රයෝගකය උසස් 5-අක්ෂ CNC ඇඹරුම් උපකරණ භාවිතයෙන් 99.8% අධි-පිරිසිදු Al₂O₃ වලින් නිරවද්ය යන්ත්රගත කර ඇත. අපගේ නිෂ්පාදන හැකියාවන්ට නිරවද්ය ඇඹරුම් යන්ත්ර සහ CNC යන්ත්රෝපකරණ මධ්යස්ථාන ඇතුළත් වන අතර, ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් සංකීර්ණ ජ්යාමිතීන් සක්රීය කරයි. අවසාන ප්රයෝගකයේ සුමට වේෆර් ඇතුළු කිරීම සඳහා ටේපර්ඩ් ප්රමුඛ දාරයක් සහිත තුනී පැතිකඩක් (මි.මී. 1.5 ක් තරම් තුනී) ඇත. ද්රව්යය ඉහළ දෘඪතාව (යන්ග්ගේ මොඩියුලස් 380 GPa), විශිෂ්ට ඇඳුම් ප්රතිරෝධය සහ 800°C දක්වා තාප ස්ථායිතාව සපයයි. සෑම ඒකකයක්ම 0.003mm පැතලි බව, 0.002mm සමාන්තරභාවය සහ Ra0.1 මතුපිට නිමාව ලබා ගැනීම සඳහා නිරවද්ය බිම් වේ, අර්ධ සන්නායක FAB පරිසරවල ස්ථාවර වේෆර් සම්බන්ධතා සහ අංශු-නිදහස් ක්රියාකාරිත්වය සහතික කරයි. අභිරුචි ඉඟි ජ්යාමිතීන් (දාර ග්රහණය, බර්නූලි, පැතලි) සහ OEM රොබෝවරුන්ට ගැලපෙන පරිදි ෆ්ලැන්ජ් සවි කිරීම සමඟ 150 mm සිට 450 mm දක්වා දිගකින් ලබා ගත හැකිය. මතුපිට නිම කිරීමේ විකල්ප අතරට ලැප් කරන ලද, ඔප දැමූ හෝ ESD විසර්ජන ආලේපනය (10⁶–10⁹ Ω/වර්ග) ඇතුළත් වේ.
පිරිවිතර (99.8% Al මත පදනම්ව)�O₃& St.Cera නිෂ්පාදන හැකියාවන්):
| දේපළ | වටිනාකම |
| ද්රව්ය | 99.8% ඇලුමිනා (අත්දත්) |
| ඝනත්වය | 3.93 g/cm³ |
| නම්යශීලී ශක්තිය | 361 MPa |
| විකර්ස් දෘඪතාව | ගිගාපට 16 |
| යංගේ මොඩියුලස් | ගිගා පැසිෆික් පැසිෆික් අම්ලය |
| පැතලි බව | 0.003 මි.මී |
| සමාන්තරකරණය | 0.002 මි.මී. |
| මතුපිට නිමාව | Ra0.1 (ලැප් කරන ලද/ඔප දැමූ) |
| උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය | 800°C උෂ්ණත්වය |
| දිග පරාසය | 150–450 මි.මී. |
අයදුම්පත්:
- · රික්තක සහ වායුගෝලීය රොබෝවරුන් තුළ වේෆර් හුවමාරුව
- · 200mm/300mm වේෆර් සඳහා FAB ස්වයංක්රීයකරණ අන්ත ප්රයෝගක
- · තුනී වේෆර් හැසිරවීම (ESD විකල්පය සමඟ)
නිෂ්පාදන හැකියාවන්:
අපගේ නිරවද්ය ඇඹරුම් යන්ත්ර සහ CNC යන්ත්රෝපකරණ මධ්යස්ථාන සංකීර්ණ සෙරමික් සංරචක නිෂ්පාදනයට හැකියාව ලබා දෙයි:
- · උපරිම යන්ත්රෝපකරණ දිග: 1500mm
- · උපරිම පිටත විෂ්කම්භය: 600mm
- · අවම අභ්යන්තර විෂ්කම්භය: 0.2mm
- · උපරිම ඝණකම: 100mm
තත්ත්ව පාලනය:
CMM විසින් සත්යාපනය කරන ලද සෘජු බව 0.005mm, ලම්බක බව 0.005mm, වටකුරු බව 0.002mm, සමාන්තර බව 0.002mm, සාන්ද්රණය 0.01mm. සෑම ඒකකයක්ම අතිධ්වනිකව පිරිසිදු කර 100 පන්තියේ පිරිසිදු කාමර ඇසුරුම් කර ඇත.
