වේෆර් හැසිරවීම සඳහා අධි-සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ඇලුමිනා සෙරමික් රොබෝ අත
St.Cera හි ඇලුමිනා සෙරමික් රොබෝ අත 99.8% අධි-සංශුද්ධතාවය Al₂O₃ (ඇලුමිනා) වලින් නිරවද්යතාවයෙන් නිර්මාණය කර ඇත. එය සුවිශේෂී නම්යශීලී ශක්තිය (361 MPa), ඉහළ දෘඪතාව (16 GPa) සහ අඩු ඝනත්වය (3.93 g/cm³) ඒකාබද්ධ කරන අතර එමඟින් අර්ධ සන්නායක වේෆර් හුවමාරුව සඳහා සැහැල්ලු නමුත් දෘඩ අතක් ලැබේ. ද්රව්යයේ තාප ප්රසාරණ සංගුණකය (7.2×10⁻⁶/°C) සිලිකන් සමඟ සමීපව ගැලපේ, සැකසීමේදී තාප නොගැලපීම අවම කරයි.
පිරිවිතර (99.8% Al₂O₃ මත පදනම්ව):
| දේපළ | වටිනාකම |
| වර්ණ | ඇත්දළ |
| ඝනත්වය | 3.93 g/cm³ |
| නම්යශීලී ශක්තිය | 361 MPa |
| විකර්ස් දෘඪතාව | ගිගාපට 16 |
| යංගේ මොඩියුලස් | ගිගා පැසිෆික් පැසිෆික් අම්ලය |
| තාප සන්නායකතාවය | 32 W/m·k |
| තාප ප්රසාරණය | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ද්වි විද ත් ශක්තිය | 15×10⁶ වී/මී |
අයදුම්පත්:
- රික්ත වේෆර් මාරු කිරීමේ රොබෝවරු (200mm/300mm)
- වායුගෝලීය හැසිරවීමේ පද්ධති
- FAB ස්වයංක්රීයකරණය සඳහා අන්ත ඵලකාරක ආයුධ
නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය:
සමස්ථානික පීඩනය → හරිත යන්ත්රෝපකරණ → 1600°C දී සින්ටර් කිරීම → CNC නිරවද්ය ඇඹරීම → අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම → 100 පන්තියේ පිරිසිදු කාමර ඇසුරුම්. සෑම අතක්ම පැතලි බව (± 0.01 මි.මී.) සහ මතුපිට රළු බව (Ra ≤0.4 μm) සඳහා CMM විසින් 100% පරීක්ෂා කරනු ලැබේ.
තත්ත්ව පාලනය:
St.Cera ISO 9001:2015 සහතික කර ඇත. අපි ASTM D149 අනුව ක්ෂුද්ර ඉරිතැලීම් සඳහා ඩයි විනිවිද යාමේ පරීක්ෂණ, නම්යශීලී ශක්තිය සඳහා තුන්-ලක්ෂ්ය නැමීම් සහ පාර විද්යුත් ශක්ති පරීක්ෂණ සිදු කරන්නෙමු.
ලෝහ ආයුධවලට වඩා වාසි:
- මල නොබැඳෙන වානේ වලට වඩා 50% සැහැල්ලුයි
- ගැල්වනික් විඛාදනයක් නොමැත
- පහළ අංශු උත්පාදනය (≤0.05 අංශු/cm²)
- ESD-ආරක්ෂිත ආලේපනයක් ඇත (10⁶–10⁹ Ω/sq)
අභිරුචිකරණය:
OEM ඇඳීම් අනුව දිග 150mm සිට 450mm දක්වා, ඉඟි හැඩයන් (දාර ග්රහණය, බර්නූලි, රික්තය), සහ ෆ්ලැන්ජ් රටා සවි කිරීම. සති 2 කින් මූලාකෘති.
තොග ඇණවුම් සඳහා, කරුණාකර මිල ගණන් ඉල්ලන්න.
