බර්නූලි සෙරමික් අන්ත ප්රයෝගකය — තුනී සහ බිඳෙන සුළු වේෆර් සඳහා ස්පර්ශ නොවන වේෆර් හැසිරවීම
ශාන්ත සෙරා හි බර්නූලි සෙරමික් අන්ත ප්රයෝගකය භෞතික ස්පර්ශයකින් තොරව වේෆර් හැසිරවීමට වායුගතික සෝපානය භාවිතා කරයි. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් 99.8% ඇලුමිනා (Al₂O₃) හෝ සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) වලින් නිෂ්පාදනය කරන ලද එය, අන්ත ප්රයෝගකය සහ වේෆර් අතර තුනී වායු පටලයක් නිර්මාණය කිරීම සඳහා පීඩන වායුව පිට කරන නිරවද්ය-යන්ත්රගත තුණ්ඩ වලින් සමන්විත වේ. මෙම ස්පර්ශ නොවන මූලධර්මය පිටුපස දූෂණය, දාර චිපින් සහ මතුපිට හානි ඉවත් කරයි, එය තුනී (≤100 μm), බිඳෙනසුලු හෝ විකෘති වූ වේෆර් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. සෙරමික් උපස්ථරය ඉහළ නම්යශීලී ශක්තියක් (Al₂O₃ සඳහා 361 MPa; SiC සඳහා 550–600 MPa දක්වා), අඩු ස්කන්ධයක් සහ විශිෂ්ට මාන ස්ථාවරත්වයක් ලබා දෙයි, අධිවේගී වේෆර් හුවමාරු රොබෝවරුන් තුළ නැවත නැවත ස්ථානගත කිරීම සහතික කරයි.
ද්රව්ය පිළිබඳ සටහන:ඇලුමිනා (Al₂O₃) යනු අර්ධ සන්නායක වේෆර් හැසිරවීමේදී සෙරමික් අන්ත ප්රයෝගක සඳහා බහුලව භාවිතා වන ද්රව්යය වන අතර එහි දෘඪතාව, විද්යුත් පරිවරණය, රසායනික ස්ථායිතාව සහ පිරිවැය-ඵලදායීතාවයේ විශිෂ්ට සංයෝජනය නිසාය. සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) වඩාත් ඉල්ලුමක් ඇති යෙදුම් සඳහා ඉහළ තාප සන්නායකතාවක්, ඉහළ දෘඪතාවක් සහ ඊටත් වඩා හොඳ ඇඳුම් ප්රතිරෝධයක් ලබා දෙයි. යිට්රියා-ස්ථායී සර්කෝනියා (ZrO₂) කාමර උෂ්ණත්වයේ දී ඉහළ අස්ථි බිඳීමේ දෘඪතාවයක් ලබා දෙන අතර, එහි ඉහළ ඝනත්වය සහ විවිධ තාප ප්රසාරණ ලක්ෂණ නිසා මෙම යෙදුමේ එය අඩුවෙන් භාවිතා වේ; සුවිශේෂී අස්ථි බිඳීමේ දෘඪතාව අවශ්ය වන විශේෂිත අවස්ථා සඳහා එය සලකා බැලිය හැකිය. ද්රව්ය තෝරා ගැනීමේ මාර්ගෝපදේශ සඳහා කරුණාකර අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම අමතන්න.
පිරිවිතර(99.8% Al මත පදනම්ව)�O₃):
දේපළ | අගය (අල්�O₃) | |
| ද්රව්ය | 99.8% ඇලුමිනා | |
| ඝනත්වය | 3.93 g/cm³ | |
| නම්යශීලී ශක්තිය | 361 MPa | |
| අස්ථි බිඳීමේ තද බව | 3–4 MPa·m¹/² | |
| විකර්ස් දෘඪතාව | ගිගාපට 16 | |
| යංගේ මොඩියුලස් | ගිගා පැසිෆික් පැසිෆික් අම්ලය | |
| තාප ප්රසාරණය (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ | |
| උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය | 800°C (වාතය) | |
| මතුපිට රළුබව (වේෆර් මුහුණත) | රා ≤0.4 μm |
මෙහෙයුම් මූලධර්මය:
සම්පීඩිත වාතය හෝ නයිට්රජන් (0.2–0.6 MPa) අභ්යන්තර නාලිකා හරහා සපයනු ලබන අතර නිරවද්ය තුණ්ඩ හරහා පිටවෙයි. ත්වරණය කරන ලද වායු ප්රවාහය අවසාන ආචරකයට ඉහළින් අඩු පීඩන කලාපයක් (බර්නූලි ආචරණය) නිර්මාණය කරයි, 50–200 μm පරතරයකින් වේෆරයට සහාය වන එසවුම් බලය ජනනය කරයි. රික්ත සිදුරු හෝ පෑඩ් වේෆරයේ පිටුපසට සම්බන්ධ නොවේ.
අයදුම්පත්:
- · පිටුපස ඇඹරීමෙන් පසු තුනී වේෆර් (≤50 μm) හැසිරවීම
- · විකෘති වූ වේෆර් ප්රවාහනය (උදා: CVD හෝ ඇනීලිං කිරීමෙන් පසු)
- · සූර්ය කෝෂ සහ LED නිල් මැණික් උපස්ථර මාරු කිරීම
- · අංශු ශුන්ය උත්පාදනයක් අවශ්ය පිරිසිදු කාමර ස්වයංක්රීයකරණය
- · ප්රදර්ශන නිෂ්පාදනයේදී වීදුරු පැනල් හැසිරවීම
නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය:
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් කුඩු වලින් සින්ටර් කරන ලද සෙරමික් උපස්ථරය → ගෑස් නාලිකා සහ තුණ්ඩ සිදුරු 5-අක්ෂ CNC යන්ත්රකරණය (විෂ්කම්භය 0.3–1.0 මි.මී., ඉවසීම ±0.01 මි.මී.) → මතුපිට Ra ≤0.4 μm දක්වා ලැප් කිරීම → අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම → හීලියම් කාන්දු පරීක්ෂණය (ගෑස් නාලිකා). ආලේපනයක් අවශ්ය නොවේ - හිස් සෙරමික් මතුපිට රසායනිකව නිෂ්ක්රීය සහ දූෂිත නොවේ.
තත්ත්ව පාලනය:
- · තුණ්ඩයේ පිහිටීම්, බාහු දිග සහ පැතලි බව 100% මාන පරීක්ෂාව (CMM)
- · වායු ප්රවාහ ඒකාකාරතා පරීක්ෂණය: සියලුම තුණ්ඩ හරහා පීඩන පහත වැටීම ≤5%
- · කාන්දු පරීක්ෂණය: ගෑස් නාලිකා 0.6 MPa කින් මුද්රා තබා ඇත, තත්පර 30 ක් තුළ පීඩන පහත වැටීමක් නොමැත.
- · ක්ෂුද්ර ඉරිතැලීම් හෝ බර්ස් සඳහා 20× අන්වීක්ෂයක් යටතේ දෘශ්ය පරීක්ෂාව
Aසාම්ප්රදායික සම්බන්ධතා අන්ත ප්රයෝගකවලට වඩා වාසි:
- · වේෆර් පිටුපස දූෂණය ශුන්යයි - යාන්ත්රික ස්පර්ශයක් නොමැත.
- · තුනී වේෆර්වල දාර කැඩී යාමක් හෝ කැඩීමක් නොමැත.
- · ස්ථායී පරතරයක් සහිත විකෘති වූ වේෆර් (මි.මී. 1 දක්වා දුන්න) හසුරුවයි.
- · රික්ත උත්පාදක යන්ත්රය සහ සිදුරු සහිත චක් නඩත්තුව ඉවත් කරයි.
- · සෙරමික් ඉදිකිරීම් ගෙවී යාමට සහ රසායනික ප්රහාරවලට ඔරොත්තු දෙයි.
අභිරුචිකරණය:
- · 200 mm, 300 mm, හෝ අභිරුචි වේෆර් ප්රමාණ සඳහා ලබා ගත හැකිය.
- · ගෑස් තුණ්ඩ රටා: සෘජු, කෝණික හෝ සුළි වර්ග
- · ද්රව්ය: ඇලුමිනා (සම්මත) හෝ සිලිකන් කාබයිඩ් (ඉහළම තාප සන්නායකතාවය සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය සඳහා)
- · OEM ඇඳීමකට අනුව බාහු දිග, සවි කරන ෆ්ලැන්ජ් සහ ගෑස් පෝට් පිහිටීම
සීමාවන්:
බර්නූලි මූලධර්මය ක්රියාත්මක කිරීම (තුණ්ඩ නිර්මාණය, වායු පරතරය) සපයා ඇති ද්රව්ය ගුණාංග වගු වල විෂය පථයෙන් ඔබ්බට ය. ඉහත යාන්ත්රික සහ තාප ගුණාංග 99.8% Al₂O₃ සඳහා සපයන ලද දත්ත පත්රිකා දැඩි ලෙස අනුගමනය කරයි. මෙම ද්රව්ය ගුණාංග මත පදනම්ව පීඩනයට ලක් වූ වායු ප්රවාහය යටතේ සෙරමික් වල කාර්ය සාධන පිරිහීමක් අපේක්ෂා නොකෙරේ. වායු ප්රවාහයට සංවේදී වේෆර් සඳහා (උදා: බිඳෙන සුළු ව්යුහයන් සහිත MEMS), වායු පීඩනය සහ තුණ්ඩ නිර්මාණය ඒ අනුව සකස් කළ යුතුය.
