ඉහළ උෂ්ණත්ව කුටීර මුද්රා තැබීම සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනා සෙරමික් මුද්රා මුද්ද
St.Cera හි සෙරමික් මුද්රා මුද්ද, ඉලාස්ටෝමර් දිරාපත් වන ආන්තික පරිසරවල පොලිමර් O-මුදු සඳහා විකල්පයක් ලෙස නිර්මාණය කර ඇත. 99.8% අධි-පිරිසිදු ඇලුමිනා (Al₂O₃) වලින් නිෂ්පාදනය කරන ලද මෙම දෘඩ මුද්රා මුද්ද ස්ථිතික මුද්රා තැබීමේ යෙදුම්වල භාවිතා වේ - සාමාන්යයෙන් මෘදු ලෝහයක් හෝ ග්රැෆයිට් ගෑස්කට් එකක් සමඟ යුගලනය කර ඇත - 800°C දක්වා උෂ්ණත්වවලදී සහ ආක්රමණශීලී ප්ලාස්මා හෝ රසායනික පරිසරවල විශ්වාසදායක රික්තයක් හෝ වායුවක් අඩංගු කිරීම සඳහා. ද්රව්යය ශුන්ය වායු පිටවීම, ඉහළ සම්පීඩ්යතා ශක්තිය (යටින් පවතින නම්යශීලී ශක්තිය 361 MPa) සහ රසායනික නිෂ්ක්රීයතාව (HF හැර හැලජන්, අම්ල සහ ක්ෂාර වලට ප්රතිරෝධී) ලබා දෙයි. නිරවද්යතාවයෙන් යුත් මුද්රා තැබීමේ මතුපිට (පැතලි බව ≤5 μm, මතුපිට රළු බව Ra ≤0.2 μm) සංසර්ග ලෝහ හෝ සෙරමික් සංරචක සමඟ කාන්දු-තද සම්බන්ධතා සහතික කරයි.
පිරිවිතර(99.8% Al මත පදනම්ව)�O₃):
| දේපළ | වටිනාකම |
| ද්රව්ය | 99.8% ඇලුමිනා (අත්දත්) |
| ඝනත්වය | 3.93 g/cm³ |
| ජල අවශෝෂණය | 0% |
| නම්යශීලී ශක්තිය | 361 MPa |
| සම්පීඩ්යතා ශක්තිය (ඇස්ත.) | >2000 MPa |
| විකර්ස් දෘඪතාව | ගිගාපට 16 |
| තාප ප්රසාරණය (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය | 800°C (වාතය), 1600°C (නිෂ්ක්රීය) |
| මතුපිට නිමාව (මුද්රා තැබීමේ මුහුණත) | Ra ≤0.2 μm (ලැප් කරන ලද) |
| පැතලි බව (මි.මී. 25 කට) | ≤5 μm |
| හීලියම් කාන්දු අනුපාතය | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (සුදුසු ගෑස්කට් එකක් සමඟ) |
අයදුම්පත්:
- · අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලි කුටීර ස්ථිතික මුද්රා (CVD, PVD, etch)
- · ඉහළ උෂ්ණත්ව උදුන දොර මුද්රා
- · රික්තක පෝෂක ෆ්ලැන්ජ් හරහා
- · රසායනික ප්රතික්රියාකාරක යාත්රා වැසීම
නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය:
අතිශය පැතලි, සුමට මුද්රා තැබීමේ මුහුණු → දාර චැම්ෆරින් → අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම සඳහා සමස්ථානික පීඩනය → 1600°C දී සින්ටර් කිරීම → නිරවද්ය ද්විත්ව පැති ලැපින්. සෑම මුද්දක්ම සම්මත ලෝහ ගෑස්කට් එකක් සහිත හීලියම් කාන්දු අනාවරකයක් මත 100% කාන්දු පරීක්ෂාවට ලක් කෙරේ.
තත්ත්ව පාලනය:
- · CMM මාන පරීක්ෂාව (ID, OD, ඝණකම, සමාන්තරකරණය)
- · Ra සහ තරංග ආයාමය සඳහා මතුපිට පැතිකඩමානය
- · දෘශ්ය පැතලි භාවිතයෙන් පැතලි බව මැනීම
- · හීලියම් කාන්දු පරීක්ෂණය (පසුපස පීඩන ක්රමය)
පොලිමර් ඕ-මුදු වලට වඩා වාසි:
- · FFKM සඳහා 800°C එදිරිව <300°C ඔරොත්තු දෙයි
- · ශුන්ය වායු විමෝචනය - රික්ත පරිසරය දූෂණය නොවේ
- · සියලුම ප්ලාස්මා රසායන විද්යාවන්ට (ෆ්ලෝරීන්, ක්ලෝරීන්, ඔක්සිජන්) ප්රතිරෝධී වේ.
- · සම්පීඩන කට්ටලයක් හෝ ස්ථිර විරූපණයක් නොමැත.
- · පිරිසිදු පරිසරවල අසීමිත සේවා කාලය
සීමාවන් (විවේචනාත්මක අදහස්):
- · O-ring එකක් නොවේ— එය තද සෙරමික් වළල්ලක් වන අතර එය මුද්රා තැබීමට මෘදු ගෑස්කට් එකක් (තඹ, ඇලුමිනියම් හෝ මිනිරන්) අවශ්ය වේ.
- · ගතික චලිතයට හෝ විශාල ෆ්ලැන්ජ් වැරදි පෙළගැස්මට ඉඩ නොදේ.
- · පොලිමර් O-මුදු වලට වඩා ඉහළ ආරම්භක පිරිවැයක්, නමුත් දිගු ආයු කාලයක් හිමිකාරිත්වයේ පිරිවැය අඩු කරයි.
- · බිඳෙන සුළු — ප්රවේශමෙන් හසුරුවන්න; ලක්ෂ්ය බලපෑම හෝ නැමීමේ ආතතියෙන් වළකින්න.
සටහන:ඉහත දත්ත සපයා ඇති Al₂O₃ ගුණාංග වගුව දැඩි ලෙස අනුගමනය කරයි. ඉලාස්ටෝමරික් ද්රව්ය සඳහා දත්ත සපයා නොමැත. මෙම නිෂ්පාදනය ස්ථිතික මුද්රා මුද්දක් වන අතර ඉලාස්ටෝමරික් O-මුද්දක් නොවේ. මෙය ඔබගේ යෙදුම් අවශ්යතා සපුරාලන්නේ දැයි තහවුරු කරන්න.
