-
වේෆර් හැසිරවීම සඳහා අධි-සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ඇලුමිනා සෙරමික් රොබෝ අත
St.Cera හි ඇලුමිනා සෙරමික් රොබෝ අත 99.8% අධි-සංශුද්ධතාවය Al₂O₃ (ඇලුමිනා) වලින් නිරවද්යතාවයෙන් නිර්මාණය කර ඇත. එය සුවිශේෂී නම්යශීලී ශක්තිය (361 MPa), ඉහළ දෘඪතාව (16 GPa) සහ අඩු ඝනත්වය (3.93 g/cm³) ඒකාබද්ධ කරන අතර එමඟින් අර්ධ සන්නායක වේෆර් හුවමාරුව සඳහා සැහැල්ලු නමුත් දෘඩ අතක් ලැබේ. ද්රව්යයේ තාප ප්රසාරණ සංගුණකය (7.2×10⁻⁶/°C) සිලිකන් සමඟ සමීපව ගැලපේ, සැකසීමේදී තාප නොගැලපීම අවම කරයි.
-
බර්නූලි සෙරමික් අන්ත ප්රයෝගකය — තුනී සහ බිඳෙන සුළු වේෆර් සඳහා ස්පර්ශ නොවන වේෆර් හැසිරවීම
ශාන්ත සෙරා හි බර්නූලි සෙරමික් අන්ත ප්රයෝගකය භෞතික ස්පර්ශයකින් තොරව වේෆර් හැසිරවීමට වායුගතික සෝපානය භාවිතා කරයි. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් 99.8% ඇලුමිනා (Al₂O₃) හෝ සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) වලින් නිෂ්පාදනය කරන ලද එය, අන්ත ප්රයෝගකය සහ වේෆර් අතර තුනී වායු පටලයක් නිර්මාණය කිරීම සඳහා පීඩන වායුව පිට කරන නිරවද්ය යන්ත්රගත තුණ්ඩ වලින් සමන්විත වේ. මෙම ස්පර්ශ නොවන මූලධර්මය පිටුපස දූෂණය, දාර චිපින් සහ මතුපිට හානි ඉවත් කරයි, එය තුනී (≤100 μm), බිඳෙනසුලු හෝ විකෘති වූ වේෆර් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. සෙරමික් උපස්ථරය ඉහළ නම්යශීලී ශක්තියක් (Al₂O₃ සඳහා 361 MPa; SiC සඳහා 550–600 MPa දක්වා), අඩු ස්කන්ධයක් සහ විශිෂ්ට මාන ස්ථාවරත්වයක් ලබා දෙයි, අධිවේගී වේෆර් හුවමාරු රොබෝවරුන් තුළ නැවත නැවත ස්ථානගත කිරීම සහතික කරයි.
-
ටෙෆ්ලෝන් ආලේපිත සෙරමික් අන්ත ප්රයෝගකය - සංවේදී වේෆර් හැසිරවීම සඳහා නොඇලෙන මතුපිට
St.Cera's Teflon (PTFE) ආලේපිත සෙරමික් අන්ත ප්රයෝගකය, ඉහළ ශක්තියකින් යුත් ඇලුමිනා උපස්ථරයක් ඒකාකාර, අඩු ඝර්ෂණ PTFE ආලේපනයක් (ඝනකම 15–30 μm) සමඟ ඒකාබද්ධ කරයි. ආලේපනය අතිශයින් අඩු ඝර්ෂණ සංගුණකයක් (≤0.1), විශිෂ්ට රසායනික ප්රතිරෝධයක් සහ නොඇලෙන ගුණාංග සපයන අතර, වේෆර් ඇලවීම වළක්වයි සහ පිටුපස දූෂණය ඉවත් කරයි. යටින් පවතින සෙරමික් උපස්ථරය (99.8% Al₂O₃) ඉහළ නම්යශීලී ශක්තියක් (361–1000 MPa), ඇඳුම් ප්රතිරෝධය සහ 260°C (ආලේපන සීමාව) දක්වා තාප ස්ථායිතාව ලබා දෙයි. මෙම අන්ත ප්රයෝගකය සියුම්, තුනී හෝ ඇලෙන සුළු වේෆර් හැසිරවීම සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ (උදා: ෆොටෝරෙසිස්ට් ආලේපනයෙන් හෝ රසායනික ක්රියාවලීන්ගෙන් පසු).
